经过公司研发团队的不懈努力，博景旗下Nano120系列迎来了全面升级，最新力作——Nano120系列升级版高精度白光干涉仪正式上线。该产品填补了商用领域国产高精度白干涉仪的空白，为国内3D外观形貌检测提供更专业、全面的解决方案。

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图 1  Nano120系列白光干涉仪升级前产品示意图             图 2  Nano120系列白光干涉仪升级后产品示意图

经过公司数载的研制和多项关键技术指标的验证，并得到先期若干客户及应用场景的检验后，Nano120系列升级版——高精度白光干涉仪正式推出。该产品具有高精度、高帧率、算法兼容性强、环境适应性强、稳定性好、操作简便、性价比高等优点。此外，该产品可广泛应用于半导体晶圆、MEMS微机电系统、精密加工表面、材料研究等领域，为国内高精密、高价值智能制造赋能，可趋于替代进口白光干涉仪。

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图 3  Nano120系列白光干涉仪测量系统示意图                  图 4  Nano120系列白光干涉仪分析系统示意图

除了拥有高精度的特点之外，Nano120系列升级版白光干涉仪还具备灵活的软件界面，包括测量系统、分析系统等子系统，配备了自动调平、自动对焦、自动测量、自动记忆等功能，以及根据不同用户需求的定制化计划，真正减少用户上机操作时间和培训成本，提高工作效率。

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图 5  自动调平原理示意图


 

                                     












                                                     

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图 6  自动聚焦原理示意图

目前Nano120系列白光干涉仪已经得到了国内众多高校、科研院所、计量机构单位和光学加工、半导体制造等行业企业的认可和广泛应用。该产品的推出将为国内3D外观形貌检测提供更专业、全面的解决方案，为中国智能制造的发展贡献力量。