白光干涉仪

白光干涉仪Nano：

是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它以白光干涉技术为原理、结合运动控制模块、3D 点云算法等对被测物件表面进行非接触式扫描并自动生成表面3D/2D图像，通过软件进行数据处理与分析后，自动生成符合ISO标准的测量参数，从而实现对被测物件表面形貌3D测量的光学检测仪器.

可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。