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白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它是以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

3D形貌测量软件是一种高级的测量工具，它主要具备微观几何形状尺寸测量和几何结构参数无损测量的功能。此外，该软件还能进行微观表面形貌分析，包括微观表面平面度、粗糙度、面粗糙度及表面缺陷的测量与分析。这些功能使得该软件可以广泛应用于各个领域。

该软件适用于各类物体表面的测量，包括超光滑、粗糙、低反射率和高反射率等类型，以及从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等方面的测量。因此，该软件在光学行业、半导体行业、新能源、汽车行业、医疗技术、表面技术、精密加工、医疗植入器械检测、航空航天、国防军工、高校及科研院所等领域中有广泛的应用。

图 1  3D形貌测量软件应用领域示意图

此外，该软件还可以广泛应用于其他领域。例如，在新型膜类材料非接触式快速测量厚度、高度，但不损害材料；在芯片制造工艺中测量比对微纳米三维全形貌；在纳米级别工件中测量粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等方面都有重要的应用价值。

图 2  新型薄膜材料图例

值得一提的是，白光干涉仪作为其中一种被广泛采用的测量仪器之一，在3D形貌测量软件中也扮演着非常关键的角色。该仪器具有高精度、高灵敏度和无接触测量的特点，能够实现实时成像，适用于需要对微小变形或不规则形状进行测量的领域，如光学元件、半导体芯片、电子器件、航空航天等。在使用3D形貌测量软件时，白光干涉仪可以更好地发挥其优势，从而提高测量效率，减少生产成本。