行业背景

材料表面的微观几何形貌特性在很大程度上影响着它的许多技术性能和使用功能。
观察材料表面形貌，为研究样品形态结构提供了便利，有助于监控产品质量，改善工艺。应用领域材料、电子、无铅焊接、机械加工、半导体制造、航空、汽车、陶瓷品、地质学、医学、冶金等。

面临挑战

 检测精度越来越高，一些特定的行业要求达到亚纳米精度，传统的外观检测方法已经无法满足日益提升的精度要求。

检测质量越来越高,除了传统2D模型外，还需提供3D模型进行深度分析和观察, 三维表面参数可以区分二维参数不能区分的地方。

解决方案

通过自动化、非接触、晶圆级别的计量系统，为前端和后端制程提高产率及降低成本。测量化学机械抛光后的样品平面度检测；凸块高度、共面性及缺陷鉴定和分析；以及各种结构的关键尺寸测量。我们的计量级测量系统为监控、跟踪、过程评估提供了充分的反馈和报告，符合GD&T规范。

1）建立配方，在配方中预设测量和分析参数

2）执行测量，根据配方参数自动测量，生成3D点云数据

3）分析参数，设置拟合、填充、滤波等分析参数

4）执行分析，自动输出3D模型及分析参数

5）保存结果，分析结果数据及图像均可以保存文件形式，并可以重复调用浏览。

影响。定量测定磨损，及快速判定各种表面类型是否符合要求，包括反光表面、平滑表面和粗糙表面等。